氣浮導(dǎo)軌

1.導(dǎo)軌的作用：是保證機(jī)器平穩(wěn)、高精度運(yùn)動的關(guān)鍵。

2.導(dǎo)軌的類型：

1）氣浮導(dǎo)軌

2）直線滾珠導(dǎo)軌

3.氣浮導(dǎo)軌的行狀：

1）矩形導(dǎo)軌

2）三角形導(dǎo)軌

3）燕尾型導(dǎo)軌

1.氣浮導(dǎo)軌工作原理：氣浮導(dǎo)軌的核心是空氣軸承。利用空氣軸承小孔r1節(jié)流形成氣腔內(nèi)的高壓P0，在導(dǎo)軌和空氣軸承間形成具有一定承載能力和剛性的薄膜h。

2.空氣軸承的性能有要求：承載能力，承載剛性（氣浮間隙每變化一微米承載能力的變化），耗氣量，抗氣振能力。對超高精度測量機(jī)，氣浮間隙及氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要。

氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：具有無磨擦及無磨損的特性，由于勻差效應(yīng)，運(yùn)動的局部直線度及角度擺動能較小，精度較高的測量機(jī)一般采用氣浮導(dǎo)軌。

直線滾珠導(dǎo)軌

1.采用直線滾珠導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：省去全套壓縮空氣設(shè)備及氣動控制組件，成本較低，適于應(yīng)用無氣源的環(huán)境；剛性較好，承載能力強(qiáng)；比簡單的滾珠軸承來講，受個別滾珠疵瑕的影響要小，有一定的勻差效應(yīng)

2.采用直線滾珠導(dǎo)軌的缺點(diǎn)：由于鋼球及導(dǎo)軌原因，該結(jié)構(gòu)的測量機(jī)精度稍低,摩擦力較大；另外它的安裝、調(diào)整找正對整機(jī)的性能的影響亦較大。